装置右側面のRUN TIMEインジケーターで、ターボ分子ポンプとダイアフラムポンプの使用時間を確認できます。

オーバーホールの目安は、ターボ分子ポンプが約3年(約26280時間)、ダイアフラムポンプが約1.5年(約13140時間)です。

オーバーホールは、当社営業所／代理店または当社指定のサービス担当店に連絡してください。