«主な原因»

脱気ユニットの真空流路に気密不良が発生しています。　

 

«処置»

脱気ユニットの真空圧を確認してください。真空圧が「NG」の場合はメソッドパラメーターで脱気ユニットの電源を［OFF］にしてもう一度電源を［ON］にしてください。真空圧が「OK」の場合は、脱気ユニットが自動復帰していますので問題ありません。