蛍光X線の分析深さは、試料の主成分、測定元素（分析線）によって変化します。
・主成分が軽元素ほど深く、重元素ほど浅くなります。
・測定元素が重元素（分析線が⾼エネルギー）ほど深く、軽元素（分析線が低エネルギー）ほど浅くなります。