BID放電ガス流量をOFFにした状態でBIDバイパスユニットのつまみを全閉にし、
BID放電ガス流量モニタ値が減少するか確認してください。
BID放電ガス流量モニタ値が1mL/min未満まで減少するときは、
バイパスユニットのつまみを回してBID放電ガス流量モニタ値が5~10mL/minになるようにスイープガス流量を再度調整してください。
BIDのスイープガス_.pdf
BID放電ガス流量モニタ値が1mL/min未満に減少しないときは、ハードウェアの故障の可能性がありますので、
装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。