• No : 5021
  • 公開日時 : 2021/02/24 15:40
  • 更新日時 : 2021/04/06 09:47
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DetAPCn makeupバルブが正しく閉じられていません[エラーコード:2057 2060 2063 2066]

検出器用APCのメイクアップガス制御用バルブが内漏れしています。
 
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回答

装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。