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PURnが過圧状態です[エラーコード:2218 2219 2220 2221]
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No : 5007
公開日時 : 2020/12/14 15:02
更新日時 : 2021/04/26 17:04
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PURnが過圧状態です[エラーコード:2218 2219 2220 2221]
パージラインに過大な圧力がかかっています
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回答
・パージラインがブラインドされていないことを確認してください。
・AFC動作中は供給ガスの元栓を開閉しないようにしてください。
・ガスを供給した状態で再度GCを起動してください
・供給ガスの圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください(AFC制御範囲)
・供給圧力が安定していることを確認してください
・上記確認後改善しない場合は、装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。
添付ファイル :
AFC、APCの制御範囲_パージ流量_.pdf