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SCDオゾンスクラバー使用時間超過です[エラーコード:9072]
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No : 4813
公開日時 : 2020/12/14 15:02
更新日時 : 2021/05/11 16:11
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SCDオゾンスクラバー使用時間超過です[エラーコード:9072]
SCDオゾンスクラバーの使用時間が設定したしきい値を超えました。
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回答
真空ポンプからの排気にオゾンが混入するリスクが増大しています。
オゾンスクラバーの充てん剤を交換し、カウントをリセットしてください。
※オゾンスクラバーの交換方法は以下をご参照ください
オゾンスクラバーの交換_.pdf
※カウント値のリセット方法は以下をご参照ください
[HOME] > [検出器] > [サブメニュー] > [SCD交換部品カウンタ]と押し、
[SCD交換部品カウンタ]画面を表示させてください。
[SCD交換部品カウンタ]画面_.pdf