• No : 4812
  • 公開日時 : 2020/12/14 15:02
  • 更新日時 : 2021/05/11 16:11
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SCD真空ポンプ使用時間超過です[エラーコード:9071]

SCD真空ポンプの使用時間が設定したしきい値を超えました。
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回答

真空ポンプを交換またはメンテナンスし、カウントをリセットしてください。
 
※真空ポンプの交換方法は以下をご参照ください
 
※カウント値のリセットは以下をご参照ください
[HOME] > [検出器] > [サブメニュー] > [SCD交換部品カウンタ]と押し、
[SCD交換部品カウンタ]画面を表示させてください。