«主な原因»

この装置に接続されているオンライン デガッサの真空圧の異常が、一定時間続くと表示されます。オンライン デガッサの真空圧を確かめてください。

ヒント: LC-40シリーズでは、初期画面から[↑], [↓]キーを数回押し、[DEGAS PRESSURE]画面でオンラインデガッサの真空圧が確認できます。

  LC-20/30シリーズでは、初期画面から[func], [back]キーを数回押し、[MONITOR]画面で[enter]を押し、モニター設定グループに入ります。[func], [back]キーを数回押し、[DEGAS PRS]画面でオンラインデガッサの真空圧が確認できます。確認後、[CE]キーを数回押せば、初期画面に戻ります。

 

«処置»

真空圧が[NG]のときは、電源を切ってから、もう一度電源入れてください。真空圧が[OK]のときは、オンラインデガッサが自動復帰していますので問題ありません。