«主な原因»

脱気ユニットの真空流路に気密不良が発生しています。

 

«処置»

脱気ユニットの真空圧を確認してください。真空圧が「NG」の場合は装置の電源をOFFにし、もう一度装置の電源をONにしてください。真空圧が「OK」の場合は、脱気ユニットが自動復帰していますので問題ありません。