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  • No : 6748
  • 公開日時 : 2021/08/18 14:50
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(ICPS) 軸方向観測用折曲げミラーのクリーニング(ICPS-7510)

(ICPS) 軸方向観測用折曲げミラーのクリーニング(ICPS-7510)
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回答

警告: 火傷をする恐れがあります。以下の作業はプラズマを消灯し、冷却ジャケット部が充分冷えた状態(プラズマ消灯後3 分以上たった後)で行ってください。
  
1) ナットを外し、ミラーホルダを冷却ジャケット部から取り出す。
2) ミラーホルダに取り付けているミラーをアルコールで湿らせたガーゼを用いてクリーニングする。
  注記: ミラーに傷をつけないように気をつけてください。
3) ミラークリーニング後ミラーホルダを冷却ジャケットに挿入する。
4) ミラーホルダのピンが冷却ジャケットの切欠き部(切欠きの右側端部)に当たっていることを確認し、ナットをしめつけミラーホルダを固定する。

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