• 文字サイズ変更
  • S
  • M
  • L
  • No : 6675
  • 公開日時 : 2021/07/30 09:07
  • 印刷

(ICPE) 真空ポンプ停止時の処置

(ICPE) 真空ポンプ停止時の処置
カテゴリー : 

回答

注記: 真空ポンプを停止する場合は、モレキュラシーブのケース内を大気状態にしてください。
 
1. 真空ポンプを停止した後、リークバルブを開ける。
  (上から見て、反時計方向に2回転程回す)
 
2. リーク音が消えた後、リークバルブを閉じる。

アンケート:ご意見をお聞かせください

ご意見・ご感想をお寄せください ご返信が必要な場合は、画面下部の4つのお問い合わせボタン(赤色)からお願いします
本サイトはPKSHA Communication社のシステム"PKSHA FAQ"を利用しています。