よくあるご質問(FAQ)

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  • No : 597
  • 公開日時 : 2020/09/16 08:26
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エラーメッセージ: 脱気ユニットの真空流路に気密不良が発生しています。 
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回答

«主な原因»
脱気ユニットの真空流路に気密不良が発生しています。 
 
«処置»
脱気ユニットの真空圧を確認してください。真空圧が「NG」の場合はメソッドパラメーターで脱気ユニットの電源を[OFF]にしてもう一度電源を[ON]にしてください。真空圧が「OK」の場合は、脱気ユニットが自動復帰していますので問題ありません。

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