よくあるご質問（FAQ）
エラーコード:[0x9100]
エラーメッセージ: 脱気ユニットの真空流路に気密不良が発生しています。
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回答
«主な原因»
脱気ユニットの真空流路に気密不良が発生しています。
«処置»
脱気ユニットの真空圧を確認してください。真空圧が「NG」の場合はメソッドパラメーターで脱気ユニットの電源を［OFF］にしてもう一度電源を［ON］にしてください。真空圧が「OK」の場合は、脱気ユニットが自動復帰していますので問題ありません。
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