よくあるご質問(FAQ)
(EDX) 分析深さ
蛍光X線分析の、分析深さはどのくらいですか?
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回答
蛍光X線の分析深さは、試料の主成分、測定元素(分析線)によって変化します。
・主成分が軽元素ほど深く、重元素ほど浅くなります。
・測定元素が重元素(分析線が⾼エネルギー)ほど深く、軽元素(分析線が低エネルギー)ほど浅くなります。
・主成分が軽元素ほど深く、重元素ほど浅くなります。
・測定元素が重元素(分析線が⾼エネルギー)ほど深く、軽元素(分析線が低エネルギー)ほど浅くなります。
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