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  • No : 5684
  • 公開日時 : 2021/04/28 13:32
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(EDX) 樹脂膜中のセラミックス板試料分析

両面に1mm厚の樹脂膜が施されたセラミックス板試料(セラミックス厚:1mm)について、RoHS分析を行いたいと考えています。
この場合、反対面の樹脂部まで分析できているのでしょうか?
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回答

反対面の樹脂部まで、分析できていません。
(1)セラミックスが間に入るため、反対面の樹脂からのX線強度は大幅に減衰することから、正確な分析はできません。
反対面の樹脂からどの程度の蛍光X線が検出されるかは理論強度計算から知ることができます。
(2)RoHS分析について、層構造になった試料を分析した場合、CdやPbが検出されても、樹脂・セラミックス・反対面の樹脂の何処から検出されたかが分らないため、正確な定量はできません。
正確に定量するためには、材質ごとに分離し、その材質に応じた条件で分析する必要があります

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