(EDX) Cu合金中のSiやPの分析
Cu合金中のSi(ケイ素)やP(リン)といった軽元素について、できるだけ感度良く分析したいのですが、どのような設定を行えば良いですか？
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回答
（1）雰囲気を真空で分析してください。
軽元素の感度が向上します
（2）管電圧を下げて分析してください。
Cuの蛍光X線の発生が抑えられ、軽元素の強度が高くなります。
軽元素の感度が向上します
（2）管電圧を下げて分析してください。
Cuの蛍光X線の発生が抑えられ、軽元素の強度が高くなります。
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