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  • 公開日時 : 2021/03/03 11:33
  • 更新日時 : 2021/04/21 09:09
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DCG APCが不安定です[エラーコード:4212]

BIDの検出器ガス流量が安定していません
 
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回答

・BID検出器ガス供給圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください。
 

・ガスの供給圧力が安定していることを確認してください。
・配管接続部に緩みや漏れがないか確認してください。
・当社指定のサービス担当に連絡し、使用している配管内径、長さを確認してください。
・上記確認後も繰り返しエラーが表示されるときは、フローコントローラの故障が考えられます。
装置の主電源を切り、ガスの供給を止め、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。 

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