SCDオゾン発生器用酸素が正しく制御できません[エラーコード:6175]
SCDのオゾン発生器用酸素ガス制御用フローコントローラの流量が安定していません。
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回答
・酸素ガスの供給圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください。
・ガスの供給圧力が安定していることを確認してください。
・上記に対策を実施後改善しない場合は、フローコントローラの故障が考えられます。
・上記に対策を実施後改善しない場合は、フローコントローラの故障が考えられます。
装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。
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