よくあるご質問(FAQ)

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  • No : 4831
  • 公開日時 : 2021/02/24 15:41
  • 更新日時 : 2021/05/11 16:14
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SCD自動起動できません[エラーコード:9078]

SCD漏れチェックに失敗しているなど、SCDが起動できない状態です。
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回答

漏れチェックに失敗している場合は、以下を確認し再度漏れチェックを実行してください。
 
①カラムの接続
 
②インナーパイロチューブ
・破損していないか
・バックリングがついているか
・フェルールが正しく挿入されているか
 
③真空ポンプ
・スイッチが入っているか
・真空引きが十分か
真空ポンプの点検_.pdf
 
④オゾンスクラバー
・真空ポンプとオゾンスクラバーに漏れがないか
 

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