よくあるご質問(FAQ)

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  • No : 4830
  • 公開日時 : 2021/02/24 15:41
  • 更新日時 : 2021/04/22 14:33
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SCD真空排気が異常です[エラーコード:6113]

SCD内部に漏れがあります。
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回答

下の表を参照して漏れの原因を特定してください。
改善されないときは装置の主電源を切り、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に、部品交換を依頼してください。
 
原因 対策
インナーパイロチューブが破損している。
インナーパイロチューブを交換する。
インナーパイロチューブのバックリングがついていない。
インナーパイロチューブのバックリングをつける。
インナーパイロチューブのフェルールが正しく挿入されていない。
インナーパイロチューブにフェルールが挿入されているか、状態に異常がないかを確認する。
カラムが適切に締結されていない。
・ナットの締結状態を確認する。
・増し締めを行う。
真空ポンプのスイッチが入っていない。
スイッチを入れる。
真空引きが不十分。
真空ポンプのメンテナンスを行う。真空ポンプのメンテナンスをしても改善されないときは、真空ポンプの交換が必要です。
真空ポンプとオゾンスクラバーの漏れ込みがある。
接続部を増し締めする。

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