よくあるご質問（FAQ）

SCDオゾンスクラバー使用時間超過です[エラーコード:9072]

SCDオゾンスクラバーの使用時間が設定したしきい値を超えました。

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真空ポンプからの排気にオゾンが混入するリスクが増大しています。

オゾンスクラバーの充てん剤を交換し、カウントをリセットしてください。

※オゾンスクラバーの交換方法は以下をご参照ください

※カウント値のリセット方法は以下をご参照ください

[HOME] > [検出器] > [サブメニュー] > [SCD交換部品カウンタ]と押し、

[SCD交換部品カウンタ]画面を表示させてください。

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