よくあるご質問（FAQ）

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  • 公開日時 : 2020/12/14 15:02
  • 更新日時 : 2021/05/10 12:39
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Flow#バルブが正しく制御できません[エラーコード:2322 2323 2324 2325 2326 2327]

フローコントローラの圧力制御バルブが正常に動作していません。
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回答

フローコントローラのバルブまたは基板不良の可能性があります。ガス供給を停止し、装置の主電源を切り、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。
 

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