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  • DCG APCが不安定です[エラーコード:4212]

    ・BID検出器ガス供給圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください。 ・ガスの供給圧力が安定していることを確認してください。 ・配管接続部に緩みや漏れがないか確認してください。 ・当社指定のサービス担当に連絡し、使用している配管内径、長さを確認してください。 ・上記確認後も繰... 詳細表示

    • No：5119
    • 公開日時：2021/03/03 11:33
    • 更新日時：2021/04/21 09:09

  • DCG流量が不足しています[エラーコード:4213]

    ・ガスの元栓が開いていることを確認してください。 ・ガスの供給圧力が以下の表の範囲に入っていることを確認してください。 ・ヘリウムガス精製機 HP2を使用している場合は、配管接続部から漏れがないか確認してください。 ・配管接続部に緩みや漏れがないか確認してください。 ・当社... 詳細表示

    • No：5118
    • 公開日時：2021/03/03 11:29
    • 更新日時：2021/04/16 15:56

  • SCD酸素の供給圧力が不足しています[エラーコード:6146]

    ・ガスの元栓が開いていることを確認してください。 ・ガスの供給圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください。 ・配管接続部に緩みや漏れがないか確認してください。 ・当社指定のサービス担当に連絡し、使用している配管内径、長さを確認してください。 詳細表示

    • No：5116
    • 公開日時：2021/03/03 11:19
    • 更新日時：2021/04/21 09:08

  • SCD水素の供給圧力が不足しています[エラーコード:6147]

    ・水素ガスを流すために必要な供給圧力となっていることを確認してください。 ・ガスの供給圧力が安定していることを確認してください。 ・上記確認後も繰り返しエラーが表示されるときは、フローコントローラの故障が考えられます。 装置の主電源を切り、ガスの供給を止め、当社営業所、代理店、当社指定のサービ... 詳細表示

    • No：5115
    • 公開日時：2021/03/03 11:15
    • 更新日時：2021/05/05 07:09

  • SCD WDTエラー[エラーコード:6148]

    装置の主電源を切り、ガスの供給を止めて、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に、部品交換を依頼してください。 詳細表示

    • No：5114
    • 公開日時：2021/03/03 11:08
    • 更新日時：2021/04/07 11:18

  • SCDヒータリレーがONに固着しています[エラーコード:6149]

    装置の主電源を切り、ガスの供給を止めて、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に、部品交換を依頼してください。 詳細表示

    • No：5113
    • 公開日時：2021/03/03 11:07
    • 更新日時：2021/04/07 11:19

  • SCDフローコントロー ラ1に接続できません[エラーコード:6151]

    装置の主電源を切り、ガスの供給を止めて、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に、部品交換を依頼してください。 詳細表示

    • No：5112
    • 公開日時：2021/03/03 11:06
    • 更新日時：2021/04/07 11:20

  • SCDフローコントローラ2に接続できません[エラーコード:6152]

    装置の主電源を切り、ガスの供給を止めて、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に、部品交換を依頼してください。 詳細表示

    • No：5111
    • 公開日時：2021/03/03 11:05
    • 更新日時：2021/04/07 11:20

  • SCDホトマルの光漏れを検知しました[エラーコード:6154]

    装置の主電源を切り、ガスの供給を止めて、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に、部品交換を依頼してください。 詳細表示

    • No：5110
    • 公開日時：2021/03/03 11:04
    • 更新日時：2021/04/07 11:21

  • SCD電気炉設定温度が低いです[エラーコード:6155]

    電気炉の設定温度を750°C以上に設定してください。 詳細表示

    • No：5109
    • 公開日時：2021/03/03 11:03
    • 更新日時：2021/04/07 11:21

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